Vakuum-Wärmebehandlungsanlage

Die am IOB zur Verfügung stehende Vakuum-Wärmebehandlungsanlage der Firma ALD ist für eine ganze Reihe von Verfahren der Thermoprozesstechnik geeignet:

  • Glühen
  • Härten
  • Lösungsglühen
  • Löten
  • Auslagern
  • Sintern

Die Erwärmung kann dabei konvektiv, unter N2/H2-Partialdruck und/oder unter Fein- bzw. Hochvakuum durchgeführt werden. Die maximale Betriebstemperatur der Ofenanlage beträgt 1600°C. Damit ist diese Anlage zum Beispiel zum Sintern von Hochtemperaturlegierungen geeignet.
Im Anschluss an den Erwärm- und Halteprozessschritt besteht in dieser Wärmebehandlungsanlage auch die Möglichkeit zu einem Abschrecken der Charge mittels Stickstoff unter Druck von bis zu 10 bar. Der Stickstoff wird dabei mit Hilfe eines Hochgeschwindigkeitslüfters in der Ofenkammer umgewälzt und über einen integrierten, wassergekühlten Wärmetauscher rückgekühlt.

ald-ofen

Technische Daten

Chargenabmessung350 x 350 x 550 mm³ (BxHxL)
Chargengewicht bruttomax. 200 kg
Nennleistung Ofenheizung80 kW
Nenntemperatur konvektiv150 – 700°C
Nenntemperatur Vakuum600 – 1600°C
Temperaturgleichmäßigkeit+/- 5 K
Endvakuum 
– im Feinvakuum< 5 x 10-2 mbar
– im Hochvakuum< 5 x 10-5 mbar
Leckrate< 5 x 10-3 mbar l/s
Schutzgasdruck Konvektionsbetrieb1,5 – 2,9 bar
Partialdruckbetrieb mit N2 oder H21 – 20 mbar
Maximaldruck bei Gasabschreckung mit N210 bar