Vakuum-Wärmebehandlungsanlage

Die am IOB zur Ver­fü­gung ste­hen­de Vaku­um-Wär­me­be­hand­lungs­an­la­ge der Fir­ma ALD ist für eine gan­ze Rei­he von Ver­fah­ren der Ther­mo­pro­zess­tech­nik geeignet:

  • Glü­hen
  • Här­ten
  • Lösungs­glü­hen
  • Löten
  • Aus­la­gern
  • Sin­tern

Die Erwär­mung kann dabei kon­vek­tiv, unter N2/H2-Par­ti­al­druck und/oder unter Fein- bzw. Hoch­va­ku­um durch­ge­führt wer­den. Die maxi­ma­le Betriebs­tem­pe­ra­tur der Ofen­an­la­ge beträgt 1600°C. Damit ist die­se Anla­ge zum Bei­spiel zum Sin­tern von Hoch­tem­pe­ra­tur­le­gie­run­gen geeig­net.
Im Anschluss an den Erwärm- und Hal­te­pro­zess­schritt besteht in die­ser Wär­me­be­hand­lungs­an­la­ge auch die Mög­lich­keit zu einem Abschre­cken der Char­ge mit­tels Stick­stoff unter Druck von bis zu 10 bar. Der Stick­stoff wird dabei mit Hil­fe eines Hoch­ge­schwin­dig­keits­lüf­ters in der Ofen­kam­mer umge­wälzt und über einen inte­grier­ten, was­ser­ge­kühl­ten Wär­me­tau­scher rückgekühlt.

ald-ofen

Technische Daten

Char­gen­ab­mes­sung350 x 350 x 550 mm³ (BxHxL)
Char­gen­ge­wicht bruttomax. 200 kg
Nenn­leis­tung Ofenheizung80 kW
Nenn­tem­pe­ra­tur konvektiv150 — 700°C
Nenn­tem­pe­ra­tur Vakuum600 — 1600°C
Tem­pe­ra­tur­gleich­mä­ßig­keit+/- 5 K
End­va­ku­um 
- im Feinvakuum< 5 x 10-2 mbar
- im Hochvakuum< 5 x 10-5 mbar
Leck­ra­te< 5 x 10-3 mbar l/s
Schutz­gas­druck Konvektionsbetrieb1,5 — 2,9 bar
Par­ti­al­druck­be­trieb mit N2 oder H21 — 20 mbar
Maxi­mal­druck bei Gas­ab­schre­ckung mit N210 bar